Отдел разработок и исследований микро- и наносистем ИНМЭ РАН
О проекте
Отдел «разработок и исследований микро- и наносистем» при Институте микроэлектроники оснащен сканирующим электронным микроскопом Apreo. Микроскоп Apreo — это высокопроизводительная платформа для исследования наночастиц, катализаторов, порошков и наноустройств, в том числе, для работы с магнитными образцами. Традиционные сканирующие электронные микроскопы высокого разрешения обладают либо электростатическими линзами, либо с магнитной иммерсией. В микроскопе Apreo компания Thermo Ficher Scientific впервые объединила оба способа в одном инструменте.
Преимущества данной компоновки выходят далеко за рамки производительности любой другой колонны. И тот и другой метод служит для формирования пучка в тонкий зонд для получения изображения при низких ускоряющих напряжениях и направления детектируемых электронов обратно через линзу в колонну. За счет комбинации магнитной и электростатической иммерсии в одной электронной пушке достигается более высокая разрешающая способность и добавляются уникальные возможности для фильтрации сигнала. Комбинированная электростатически-магнитная конечная линза обеспечивает разрешение 1,0 нм при 1 кВ (без активации функции замедления пучка или монохроматора).
Особенности проекта
Сканирующий микроскоп снабжен системой электронной литографии Xenos XeDraw2, которая располагается на электронной пушки высокого напряжения (до 100 кэВ). Нанолитография предназначена для получения изображения на пластине или шаблоне при помощи засветки фоторезиста пучком электронов. Электронный луч засвечивает фоторезист на подложке по заранее загруженному в систему дизайну. После процесса экспонирования резист проявляется, и в результате получается изображение на подложке.
Оборудование компании Xenos предназначено для средне-, мелкосерийных и единичных производств и выполняет экспонирование в высоком качестве с высоким предельно высоким разрешением и размерами элемента экспонирования. Достичь предельных параметром работы установок позволяет также специальная система контроля микроклимата, защита от электромагнитных полей и вибраций. Модели серии XeDraw устанавливаются в чистых комнатах и не занимают много места. Электронно-лучевая литография предусматривает решение полного спектра задач и отвечает всем требованиям современной динамики требований в области нанотехнологий.
