Сканирующий электронный микроскоп Apreo — высокопроизводительная платформа для исследования наночастиц, катализаторов, порошков и наноустройств, в том числе, для работы с магнитными образцами. Традиционные сканирующие электронные микроскопы высокого разрешения обладают либо электростатическими линзами, либо с магнитной иммерсией. Впервые FEI объединяет оба способа в одном инструменте.
Преимущества данной компоновки выходят далеко за рамки производительности любой другой колонны. И тот и другой метод служит для формирования пучка в тонкий зонд для получения изображения при низких ускоряющих напряжениях и направления детектируемых электронов обратно через линзу в колонну. За счет комбинации магнитной и электростатической иммерсии в одной электронной пушке достигается более высокая разрешающая способность и добавляются уникальные возможности для фильтрации сигнала. Комбинированная электростатически-магнитная конечная линза обеспечивает разрешение 1,0 нм при 1 кВ (без активации функции замедления пучка или монохроматора).
Электронная колонна высокого разрешения с полевой эмиссией Шоттки, включает:
Высокостабильный источник полевой эмиссии Шоттки обеспечивает стабильные высокие токи в сочетании с высокой разрешающей способностью
Комбинированная конечная линза: сочетание электростатического поля, безполевого магнитного и иммерсионной магнитной объективной линзы.
Угол объективной линзы в 60°: позволяет наклонять большие образцы
Автоматически очищаемые за счет подогрева диафрагмы обеспечивают стабильную работу
Дифференциальная откачка через линзу для низкого вакуума уменьшает расщепление пучка электронов, что увеличивает точность анализа и разрешающую способность.
Функция замедления пучка с диапазоном от -4000 В до +600 В
Непрерывный контроль тока пучка и оптимизированный угол раскрытия конечной линзы
Двухступенчатая технология отклонения пучка
Простота в установке и настройке пушки, техническое обслуживание – авто отжиг пушки, авто старт, отсутствуют механических юстировок.
Гарантированное время жизни источника: 12 месяцев.